يتم تحضير وأنماء الأغشية الرقيقة من الطور الغازي (Gas Phase) وذلك بطريقة إنماء طبقة ذرية (Atomic Layer Epitaxy)(ALE)، ومن الطور السائل (Liquid Phase) بطريقة
تفاعل وتكاثف طبقة أيونية متعاقبة (SILAR) (Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction)، وكذلك بطريقة الترسيب الكهربائي (Electrodeposition) [4]،